[实用新型]一种炉室小型化的悬浮区熔单晶炉有效
| 申请号： | 201820831934.3 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN208440719U | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 李小刚 | 申请（专利权）人： | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 614100 四川省乐山*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型属于悬浮区熔单晶炉技术领域，具体涉及一种炉室小型化的悬浮区熔单晶炉。针对现有用于生产较长单晶棒的悬浮区熔单晶炉由于炉室过大，导致生产成本较高、占用空间较大的问题。本实用新型的技术方案是：包括炉室，炉室顶部设置有上轴，上轴的末端设置有夹具，炉室底部设置有下轴，炉室中还设置有挂架，挂架一端连接有用于将挂架输送至上轴下方的伸缩轴，伸缩轴通过能够横向滑动的滑动机构与炉室的内壁连接。本实用新型适用于长棒状单晶的生长工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 炉室 悬浮区熔 单晶炉 本实用新型 挂架 伸缩轴 上轴 夹具 横向滑动 滑动机构 炉室顶部 内壁连接 一端连接 占用空间 长棒状 单晶棒 单晶 下轴 生产成本 生长 生产 | ||
【主权项】：
1.一种炉室小型化的悬浮区熔单晶炉，包括炉室(1)，炉室(1)顶部设置有上轴(2)，上轴(2)的末端设置有夹具，炉室(1)底部设置有下轴(11)，其特征在于：炉室(1)中还设置有挂架(13)，挂架(13)一端连接有用于将挂架(13)输送至上轴(2)下方的伸缩轴(15)，伸缩轴(15)通过能够横向滑动的滑动机构与炉室(1)的内壁连接。
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