[实用新型]一种多点支撑的单晶炉坩埚杆有效
| 申请号： | 201820831966.3 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN208440726U | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 李小刚 | 申请（专利权）人： | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 614100 四川省乐山*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型属于单晶炉技术领域，具体涉及一种多点支撑的单晶炉坩埚杆。针对现有坩埚杆结构中，冷却水的冷却作用无法满足坩埚杆盘状顶部的充分散热，使得坩埚杆上部易出现局部高温，从而使得坩埚杆使用寿命下降的问题，本实用新型的技术方案是：包括坩埚杆，坩埚杆中设置有上行流道和下行流道，上行流道和下行流道在坩埚杆顶部连通，所述坩埚杆顶部设置有一个中心支撑脚和多个对称设置的侧面支撑脚，中心支撑脚内部设置有冷却支水道Ⅰ，所述冷却支水道Ⅰ的两端分别与上行流道和下行流道连通，所述侧面支撑脚内部设置有冷却支水道Ⅱ，冷却支水道Ⅱ的两端分别与上行流道和下行流道连通。本实用新型适用于单晶炉。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚杆 上行流道 下行流道 单晶炉 本实用新型 水道 冷却 连通 侧面支撑 多点支撑 内部设置 中心支撑 顶部设置 对称设置 局部高温 冷却作用 使用寿命 冷却水 散热 盘状 | ||
【主权项】：
1.一种多点支撑的单晶炉坩埚杆，包括坩埚杆(2)，坩埚杆(2)中设置有上行流道(13)和下行流道(12)，上行流道(13)和下行流道(12)在坩埚杆(2)顶部连通，其特征在于：所述坩埚杆(2)顶部设置有一个中心支撑脚(4)和多个对称设置的侧面支撑脚(6)，中心支撑脚(4)内部设置有冷却支水道Ⅰ(5)，所述冷却支水道Ⅰ(5)的两端分别与上行流道(13)和下行流道(12)连通，所述侧面支撑脚(6)内部设置有冷却支水道Ⅱ(7)，冷却支水道Ⅱ(7)的两端分别与上行流道(13)和下行流道(12)连通。
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