[实用新型]化学水浴薄膜的沉积装置有效

专利信息
申请号: 201820833550.5 申请日: 2018-05-31
公开(公告)号: CN208829763U 公开(公告)日: 2019-05-07
发明(设计)人: 陈腾 申请(专利权)人: 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
主分类号: C23C18/00 分类号: C23C18/00;H01L31/18
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 102600 北京市大兴区北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请公开了一种化学水浴薄膜的沉积装置,放卷辊,包括第一放卷辊和第二放卷辊,其中所述第一放卷辊用于缠绕隔离保护层,所述第二放卷辊用于缠绕镀膜衬底,并且,所述第一放卷辊和第二放卷辊被配置为使得所述隔离保护层覆盖所述镀膜衬底以形成复合层;水浴反应室,被配置为容纳所述复合层使其进行沉积反应;收卷辊,被配置为接收完成沉积反应的复合层。采用本实用新型的沉积装置对化学水浴薄膜进行沉积,可以阻止化学水浴在衬底背面的沉积,从而避免后续背面清洗工艺处理,既提高生产效率,又节约生产成本。
搜索关键词: 放卷辊 化学水 沉积 沉积装置 复合层 衬底 薄膜 隔离保护层 镀膜 缠绕 配置 节约生产成本 本实用新型 清洗工艺 生产效率 水浴反应 收卷辊 背面 容纳 覆盖 申请
【主权项】:
1.一种化学水浴薄膜的沉积装置,其特征在于,包括:放卷辊,包括第一放卷辊和第二放卷辊,其中所述第一放卷辊用于缠绕隔离保护层,所述第二放卷辊用于缠绕镀膜衬底,并且,所述第一放卷辊和第二放卷辊被配置为使得所述隔离保护层覆盖所述镀膜衬底以形成复合层;水浴反应室,被配置为容纳所述复合层使其进行沉积反应;收卷辊,被配置为接收完成沉积反应的复合层。
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