[实用新型]一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置

摘要

一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置，装置本体上端设置有尾气入口，尾气入口一侧设置有尾气出口，装置本体下端设置有排出口，排出口上方设置有开合式挡板，挡板一侧设置有阀门，装置本体内从左至右依次竖直设置有第一水管、第二水管和第三水管，第一水管、第二水管和第三水管上端均贯穿装置本体的上端与外界连通设置，第一水管、第二水管和第三水管的侧壁上均布设置有若干水平喷水口，第一水管、第二水管和第三水管的下端均设置有竖直喷水口。本实用新型采用装置内喷水降温，使尾气降温后产生的焦油能留在装置内，再通过焦油水洗法将装置内的焦油清洗干净，避免了焦油堵塞管道以及管道拆卸的麻烦，实用性强，适合推广。

主权项

1.一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置，包括装置本体，所述装置本体上端设置有尾气入口，所述尾气入口一侧设置有尾气出口，其特征在于：所述装置本体为倒置的水瓶状，所述装置本体的内壁圆滑，所述装置本体下端设置有排出口，所述排出口上方设置有开合式挡板，所述挡板一侧设置有阀门，所述装置本体内从左至右依次竖直设置有第一水管、第二水管和第三水管，所述第一水管、第二水管和第三水管上端均贯穿所述装置本体的上端与外界连通设置，所述第一水管、第二水管和第三水管的侧壁上均布设置有若干水平喷水口，所述第一水管、第二水管和第三水管的下端均设置有竖直喷水口。