[实用新型]一种新型的化学气相沉积炉

摘要

一种新型的化学气相沉积炉,它涉及化学气相沉积技术领域，具体涉及一种新型的化学气相沉积炉，它包含炉体、进料管、蒸发箱、加热管、集气罩、通气孔、导气管、沉积室、出气管，炉体内从下至上依次设置有蒸发箱、集气罩、沉积室，炉体的底部设置有进料管，进料管穿过炉体的底部炉壁与蒸发箱连通，蒸发箱的顶部设置有加热管，蒸发箱的外部设置有集气罩，蒸发箱的箱壁上设置有数个通气孔，蒸发箱通过通气孔与集气罩连通，集气罩的顶部通过导气管与沉积室连通，出气管穿过炉体的顶部炉壁与沉积室连通。采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它不仅结构紧凑，设计合理，而且沉积效果好，产品转化率高。

主权项

1.一种新型的化学气相沉积炉，其特征在于：它包含炉体(1)、进料管(2)、蒸发箱(3)、加热管(4)、集气罩(5)、通气孔(6)、导气管(7)、沉积室(8)、出气管(9)，炉体(1)内从下至上依次设置有蒸发箱(3)、集气罩(5)、沉积室(8)，炉体(1)的底部设置有进料管(2)，进料管(2)穿过炉体(1)的底部炉壁与蒸发箱(3)连通，蒸发箱(3)的顶部设置有加热管(4)，蒸发箱(3)的外部设置有集气罩(5)，蒸发箱(3)的箱壁上设置有数个通气孔(6)，蒸发箱(3)通过通气孔(6)与集气罩(5)连通，集气罩(5)的顶部通过导气管(7)与沉积室(8)连通，出气管(9)穿过炉体(1)的顶部炉壁与沉积室(8)连通。