[实用新型]一种晶片抛光机

摘要

本实用新型公开了一种晶片抛光机，其技术方案要点是所述盘架包括圆盘和用于支撑圆盘的支杆，所述圆盘上设有导向架，所述旋转电机上设有穿过导向架进行打磨的磨盘，所述旋转电机上设有L形的固定件，固定件上设有导向孔，所述磨盘上设有穿过导向孔的导向杆，所述机体上还设有工件装夹台，所述工件装夹台底部设有导向套，导向套内设有连接杆，机体内设有推进气缸，所述推进气缸端部设有截面为直角三角形的三角块，所述三角块的斜面置于连接杆底部，所述导向套上还设有供三角块滑动的导孔，所述工件装夹台设有限位槽，所述机体上设有固定座，固定座上铰接有固定块，所述固定块卡于限位槽内，本实用新型目的在于提供一种便于微调调节高度且减少连接杆更换情况的晶片抛光机。

主权项

1.一种晶片抛光机，包括机体、置于机体上的支撑架、置于机体上的盘架和置于盘架上的旋转电机，以及置于支撑架上且控制旋转电机旋转的活动气缸，其特征是：所述盘架包括圆盘和用于支撑圆盘的支杆，所述圆盘上设有导向架，所述旋转电机上设有穿过导向架进行打磨的磨盘，所述旋转电机上设有L形的固定件，固定件上设有导向孔，所述磨盘上设有穿过导向孔的导向杆，所述机体上还设有工件装夹台，所述工件装夹台底部设有导向套，导向套内设有连接杆，机体内设有推进气缸，所述推进气缸端部设有截面为直角三角形的三角块，所述三角块的斜面置于连接杆底部，所述导向套上还设有供三角块滑动的导孔，所述工件装夹台设有限位槽，所述机体上设有固定座，固定座上铰接有固定块，所述固定块卡于限位槽内。