[实用新型]一种金属溅射系统中的阻隔式控制装置有效
| 申请号： | 201820853413.8 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN208667833U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 岑永富;刘青健;蒋振声;覃觉平 | 申请（专利权）人： | 应达利电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福永街道凤凰社区腾丰一路*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种金属溅射系统中的阻隔式控制装置，包括挡板单元、棒状金属、电源、电源控制器、频率计和多个石英晶片，其特征在于，所述挡板单元与所述电源通过导线相连，所述电源与所述频率计分别通过导线与所述电源控制器相连；所述多个石英晶片设置于同一条直线上，所述棒状金属与所述多个石英晶片的位置相对固定,且所述棒状金属与所述石英晶片互相平行；所述挡板单元设置在所述棒状金属与所述石英晶片之间；所述频率计用于获取所述石英晶片的频率数据，并通过所述电源控制器指示所述挡板单元在所述棒状金属与所述石英晶片之间移动。本实用新型通过改变挡板方向来调整金属离子溅射量，从而增加石英晶片频率的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 石英晶片 棒状金属 挡板单元 电源控制器 频率计 本实用新型 电源 金属溅射 控制装置 阻隔式 石英晶片频率 同一条直线 挡板方向 互相平行 金属离子 频率数据 位置相对 溅射 移动 | ||
【主权项】：
1.一种金属溅射系统中的阻隔式控制装置，包括挡板单元(10)、棒状金属(60)、电源(20)、电源控制器(30)、频率计(40)和多个石英晶片(50)，其特征在于，所述挡板单元(10)与所述电源(20)通过导线相连，所述电源(20)与所述频率计(40)分别通过导线与所述电源控制器(30)相连；所述多个石英晶片(50)设置于同一条直线上，所述棒状金属(60)与所述多个石英晶片(50)的位置相对固定,且所述棒状金属(60)与所述石英晶片(50)互相平行；所述挡板单元(10)设置在所述棒状金属(60)与所述石英晶片(50)之间；所述频率计(40)用于获取所述石英晶片(50)的频率数据，并通过所述电源控制器(30)指示所述挡板单元(10)在所述棒状金属(60)与所述石英晶片(50)之间移动。
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