[实用新型]基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器

摘要

本实用新型为一种基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器，包括壳体、交错布置的NTP放电模块及套管。NTP放电模块采用复合结构：涂覆绝缘导热硅胶的高压电极嵌套在石英套管外侧，每一层高压电极分别用导线与外部电路连接，其放电电压、占空比均随着模块级数的增加而逐渐减小。石英套管内侧为低压电极，两者留有放电间隙。嵌套有高压电极的石英套管和低压电极由水冷通道连接，进而使高压电极与石英管和低压电极三者成为一个独立的悬臂结构。本实用新型使得反应气体在NTP发生器中减缓流动速度，稳定了气体压力，延长了气体的反应时间，提高了转化效率。交错布置的NTP放电模块使反应气体在经过介质阻挡放电区域后都可以及时进行冷却，抑制NTP活性物质的热解。

主权项

1.一种基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器,其特征在于，包括壳体(18)、放电模块及套管；所述放电模块为石英管(6)外圈嵌套高压电极(5)，石英管(6)内圈相隔一段间隙处设有低压电极(8)，三者同轴放置；放电模块的一端通过隔板一(22)使石英管(6)与低压电极(8)之间的间隙形成一个空腔，为气体流道；放电模块的另一端的低压电极(8)直接连接壳体(1)，高压电极(5)与石英管(6)通过安装隔板(21)与壳体(18)相连；两个放电模块之间等距设置一组套管；所述每一组套管有两层，距离中心轴近的为内层套管(17)，离中心轴远的为外层套管(16)，内层套管(17)与外层套管(16)的一端直接与壳体连接，另一端通过隔板二(23)将内层套管(17)与外层套管(16)之间连接，使内层套管(17)、外层套管(16)与隔板二(23)一侧之间形成一个空腔，为气体流道；隔板二(23)另一侧与放电模块的安装隔板(21)之间形成水冷通道。