[实用新型]一种平面靶材溢铟保护工装

摘要

本实用新型公开了一种平面靶材溢铟保护工装，包括：平面工作台、框架、压板、第一锡纸层、第二锡纸层；第一锡纸层可以将溢出的金属铟接住，进而可以重复利用；框架可拆卸方式连接，可以方便将框架内的平面靶材取出；料槽可以将残余的金属铟废料收集起来，以备后续重复利用，压块可以对铜片层进行挤压，使铟层更加薄而均匀，进而达到更好的贴合效果；压板可以增大铜片层的受力面积，进而使铜片层受力均匀，防止因铜片层将不均匀的受力传导至靶材上，从而将靶材压裂或压弯等问题的产生。

主权项

1.一种平面靶材溢铟保护工装，其特征在于，包括：平面工作台（1）、框架（6）、压板（8）、第一锡纸层（2）、第二锡纸层（7）；所述框架（6）设置在平面工作台（1）上，所述第一锡纸层（2）设置在框架（6）内，且第一锡纸层（2）的上部边界均延伸至框架（6）上边框外部，所述第一锡纸层中部铺设在平面工作台（1）上表面，所述第一锡纸层（2）内放置平面靶材，其中，所述平面靶材包括硅片层（3）、铟层（4）、铜片层（5），所述平面靶材上铺设有压块（9），所述压块（9）与平面靶材之间设有第二锡纸层（7），所述第二锡纸层（7）边界均延伸至框架（6）上边沿外部。