[实用新型]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201820876134.3 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN208733207U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 小泽雅基;住谷利治;相泽雄树 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够在闭合了蒸发源挡板的情况下防止蒸镀材料从蒸发源挡板之间的间隙泄漏的蒸镀装置(1)。该蒸镀装置(1)具有蒸发源(3)和配置在所述蒸发源(3)上方的蒸发源遮挡组件(4)，所述蒸发源遮挡组件(4)包括至少两个挡板部件，至少一个挡板部件可在遮挡位置和开启位置之间运动，当处于遮挡位置时，所述至少两个挡板部件拼合成挡板，以便在所述蒸发源(3)和被蒸镀的基板(2)之间形成屏障；所述蒸镀装置(1)的特征在于，在拼合状态下互相邻近的至少一对挡板部件之间设置有遮蔽部(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 挡板部件 蒸镀装置 蒸发源挡板 遮挡位置 遮挡组件 本实用新型 闭合 挡板 间隙泄漏 开启位置 拼合状态 蒸镀材料 遮蔽 基板 蒸镀 合成 邻近 屏障 配置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置(1)，具有蒸发源(3)和配置在所述蒸发源(3)上方的蒸发源遮挡组件(4)，所述蒸发源遮挡组件(4)包括至少两个挡板部件，至少一个挡板部件可在遮挡位置和开启位置之间运动，当处于遮挡位置时，所述至少两个挡板部件拼合成挡板，以便在所述蒸发源(3)和被蒸镀的基板(2)之间形成屏障；所述蒸镀装置(1)的特征在于，在拼合状态下互相邻近的至少一对挡板部件之间设置有遮蔽部(5)。
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