[实用新型]一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置有效
| 申请号： | 201820887354.6 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN208454508U | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 李继涛;张园园 | 申请（专利权）人： | 多氟多（昆明）科技开发有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/16 | 分类号： | C01C1/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650300 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型属于电子化学品生产设备领域，具体涉及一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置。目的是提供一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置。采用的技术方案是：包括液氨储罐、第一水洗桶、第二水洗桶、反应容器、水浴槽、第三过滤器以及成品罐；还包括第一分子筛过滤器、第一过滤器、超纯水容器、氟化氢储气罐、第二分子筛过滤器、第二过滤器、混合罐；所述反应容器放置在水浴槽内。使用经净化后的氟化氢气体、氨气和超纯水混合的方式反应生成氟化铵，得到的氟化铵纯度更高、质量稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化铵溶液 制备装置 纯级 净高 分子筛过滤器 超纯水 氟化铵 水洗桶 水浴槽 储气罐 氨气 过滤器 本实用新型 第二过滤器 第一过滤器 电子化学品 氟化氢气体 生产设备 液氨储罐 质量稳定 成品罐 氟化氢 混合罐 净化 | ||
【主权项】：
1.一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置，包括液氨储罐（1）、第一水洗桶（8）、第二水洗桶（9）、反应容器（10）、水浴槽（11）、第三过滤器（15）以及成品罐（14）；其特征在于：还包括第一分子筛过滤器（2）、第一过滤器（3）、超纯水容器（4）、氟化氢储气罐（5）、第二分子筛过滤器（6）、第二过滤器（7）、混合罐（18）；所述液氨储罐（1）出气口依次连接第一分子筛过滤器（2）、第一过滤器（3）以及第一水洗桶（8）进口，所述第一水洗桶（8）出口与第二水洗桶（9）进口相连，所述第二水洗桶（9）出口与反应容器（10）进口相连；所述氟化氢储气罐（5）出气口依次连接第二分子筛过滤器（6）、第二过滤器（7）以及反应容器（10）进口，所述超纯水容器（4）出口与反应容器（10）进口相连；所述反应容器（10）放置在水浴槽（11）内，所述反应容器（10）出口与混合罐（18）进口相连，所述混合罐（18）出口连接第三过滤器（15）之后与成品罐（14）进口相连。
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