[实用新型]一种用于硅片表面冲洗的水刀

摘要

一种用于硅片表面冲洗的水刀，包括刀身、设于刀身内的多个刀孔和蓄水高压装置，所述的刀孔上方与蓄水高压装置贯通连接，多个刀孔之间间隔等距设置，刀孔下端为长扁形开口的出水口，所述的设于刀身内的刀孔为曲线向下延伸的通水孔，所述的蓄水高压装置内的水升压后经水管被泵入刀孔内，升压后的水自向下延伸的通水孔喷出后在出水口下方形成扇形喷射流。相较于现有使用较多带直孔槽的水刀，本实用新型采用曲线向下延伸的通水孔，使原本直接从直孔槽喷出的柱形喷射流变成扇形喷射流，不仅增大单个水刀刀孔清洗覆盖面积，且喷射流冲洗水压大，冲洗效果好，同时减少直孔槽中的纯水使用量，减少纯水的浪费，降低水刀使用成本。

主权项

1.一种用于硅片表面冲洗的水刀，包括刀身(1)、设于刀身(1)内的多个刀孔(2)和蓄水高压装置(3)，其特征在于：所述的刀孔(2)上方与蓄水高压装置(3)贯通连接，多个刀孔(2)之间间隔等距设置，刀孔(2)下端为长扁形开口的出水口(5)，所述的设于刀身(1)内的刀孔(2)为曲线向下延伸的通水孔，所述的蓄水高压装置(3)内的水升压后经水管被泵入刀孔(2)内，升压后的水自向下延伸的通水孔喷出后在出水口下方形成扇形喷射流。