[实用新型]一种接触式曝光用防粘铬版有效
| 申请号： | 201820900218.6 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN208207511U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 崔子龙;俎阿敏;刘威;吴德生 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 邓义华;廖苑滨 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的接触式曝光用防粘铬版，在铬版最下表面设置一层二氧化硅—含氟聚合物复合薄膜或者二氧化硅—氟硅烷复合薄膜，由于二氧化硅—含氟聚合物复合薄膜或者二氧化硅—氟硅烷复合薄膜具有极低的表面张力，与光刻胶之间没有粘性，因此，可以有效避免在接触曝光时铬版与光刻胶之间的粘附现象，从而杜绝了铬版被污染、光刻胶发生脱落和变形、光刻胶与铬版难以分离现象的发生，解决了传统铬版在接触曝光过程中生产效率低、曝光质量差的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 铬版 二氧化硅 复合薄膜 光刻胶 含氟聚合物 接触式曝光 接触曝光 氟硅烷 防粘 分离现象 生产效率 下表面 质量差 粘附 变形 曝光 污染 | ||
【主权项】：
1.一种接触式曝光用防粘铬版，其特征在于，所述接触式曝光用防粘铬版包括：玻璃承载板、金属铬层、防粘贴层，玻璃承载板位于铬版的最上表面，所述防粘贴层设置在铬版的最下表面，所述防粘贴层为二氧化硅—含氟聚合物复合薄膜或者二氧化硅—氟硅烷复合薄膜。
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