[实用新型]电极蒸镀装置

摘要

本实用新型涉及材料制备技术领域，特别是涉及一种电极蒸镀装置，包括：支撑台、第一限位件、掩膜架、第一弹性件和第二限位件。第一限位件固定于支撑台的一侧，掩膜架滑设于第一限位件；第一弹性件设置于第一限位件和掩膜架之间；第二限位件滑设于支撑台；利用传样抓手将样品安装到支撑台，传样抓手对第二限位件施加外力，第二限位件在外力的作用下，将掩膜架朝远离支撑台的方向推动。当外力撤除时，第一弹性件将掩膜架向支撑台的方向推动，以使掩膜与样品接触。本实用新型的电极蒸镀装置，不需要利用单独的操作杆来操作掩膜架，而是在完成样品传送的同时实现样品与掩膜的接触。从而便于检测人员操作，简化了操作的步骤，降低了操作的难度。

主权项

1.一种电极蒸镀装置，其特征在于，包括：支撑台(100)，用于固定支撑带有样品(700)的样品托(500)；第一限位件(200)，固定于所述支撑台(100)的一侧；掩膜架(300)，滑设于所述第一限位件(200)，所述掩膜架(300)用于装载掩膜(800)；第一弹性件，设置于所述第一限位件(200)和所述掩膜架(300)之间，所述第一弹性件利用自身的弹性恢复力将所述掩膜架(300)朝靠近所述支撑台(100)的方向推动；以及第二限位件(400)，滑设于所述支撑台(100)，所述第二限位件(400)与所述第一限位件(200)分别位于所述支撑台(100)的两侧；利用传样抓手(600)对所述第二限位件(400)施加外力，所述第二限位件(400)在所述外力的作用下，将所述掩膜架(300)朝远离所述支撑台(100)的方向推动；当所述外力撤除时，所述第一弹性件将所述掩膜架(300)向所述支撑台(100)的方向推动，以使所述掩膜(800)与所述样品(700)接触。