[实用新型]原位置检测装置有效
| 申请号： | 201820907199.X | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN208367116U | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 胡小鹏;郑澄;薛其坤;陈曦 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 熊曲 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种原位置检测装置，包括：测量头、驱动机构以及检测腔体；检测腔体上设置有第一光学观察孔，测量头上设置有第二光学观察孔；检测腔体上开设有用于供测量头通过的开口；检测腔体上还设置有屏蔽门，驱动机构与屏蔽门连接，用于驱动屏蔽门相对于检测腔体移动，以敞开或者覆盖开口，而打开或者关闭检测腔体。将本实用新型的原位置检测装置安装在超真空检测系统中，给检测人员提供了一种在光学观察方法下将样品与探针对准并检测样品各项电学性能的检测平台，无需再将样品从超高真空的检测环境中取出，极大的减少了检测人员的操作步骤，提高检测效率。且保证样品在检测过程中始终处于真空环境，实现了对样品表面性质的保护。 | ||
| 搜索关键词： | 检测腔 检测 检测装置 屏蔽门 原位置 本实用新型 光学观察孔 驱动机构 测量头 开口 样品表面性质 真空检测系统 超高真空 电学性能 关闭检测 光学观察 检测样品 真空环境 腔体 探针 对准 测量 取出 敞开 驱动 移动 覆盖 保证 | ||
【主权项】：
1.一种原位置检测装置，其特征在于，包括：检测腔体(100)，用于设置在超高真空系统原样品运输线；所述检测腔体(100)上设置有第一光学观察孔(110)；所述检测腔体(100)上还设置有屏蔽门(120)；测量头(800)，能够与所述检测腔体(100)连接；所述测量头(800)上设置有与所述第一光学观察孔(110)位置相匹配的第二光学观察孔(810)；所述检测腔体(100)上开设有用于供所述测量头(800)通过的开口；驱动机构(200)，所述驱动机构(200)与所述屏蔽门(120)连接，用于驱动所述屏蔽门(120)相对于所述检测腔体(100)移动，以敞开或者覆盖所述开口，而打开或者关闭所述检测腔体(100)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820907199.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
