[实用新型]用于有机发光二极管显示器的制造设备

摘要

本创作公开了一种用于有机发光二极管显示器的制造设备，有机发光二极管显示器通过蒸镀制程及黄光微影制程形成，其包括蒸镀流水线及黄光微影流水线，蒸镀流水线包括多个第一传输装置、多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置、至少一个第一电浆清洁装置，多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置及至少一个第一电浆清洁装置分别连接对应的第一传输装置；黄光微影流水线至少包括多个第二传输装置、光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置，光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置分别连接对应的第二传输装置。本创作的设备整合蒸镀流水线及黄光微影流水线，以提升制造效率，本创作的制造设备能制造一般有机发光二极管显示器。

主权项

1.一种用于有机发光二极管显示器的制造设备，所述有机发光二极管显示器通过蒸镀制程及黄光微影制程形成，其特征在于，所述制造设备包括:蒸镀流水线，其包括多个第一传输装置、多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置、至少一个第一电浆清洁装置，多个所述线状蒸镀装置、多个所述第一点状蒸镀装置及至少一个所述第一电浆清洁装置分别连接对应的所述第一传输装置；以及黄光微影流水线，其包括多个第二传输装置、光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置，所述光阻涂布装置、所述曝光装置、所述显影装置及所述湿式剥膜装置分别连接对应的所述第二传输装置。