[实用新型]柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备

摘要

本实用新型公开了一种柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备。该柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备实时对机械从动进行监控，卷对卷速度张力自动纠正，线性源加热单位分开保护，加热温度在线监控，实时控制，同时可通过扩散泵和机械泵组逐级抽真空，保证工艺环境的稳定性。

主权项

1.一种柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备，包括腔体和控制器，控制器连接电脑，腔体包括上腔体和下腔体，上腔体和下腔体压合密闭，其特征是，所述上腔体内转动连接有放卷辊、收卷辊和若干传动辊，放卷辊和收卷辊末端固定连接私服电机，放卷辊和收卷辊间若干传动辊连成输送通道，下腔体内对应输送通道分别设置有多个线性源盒，输送通道的中间位置和末端分别对应设置有XRF检测装置，输送通道上位于线性源盒对应位置分别设置有温度传感器，每个线性源盒上端开口，每个线性源盒内设置有线性源，每个线性源底部设置有加热器，腔体内连通有真空系统，控制器通过导线连通私服电机、XRF检测装置、温度传感器、加热器和真空系统。