[实用新型]用于硅片单面制绒的分片装置有效
申请号: | 201820925759.4 | 申请日: | 2018-06-14 |
公开(公告)号: | CN208271931U | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 黄洁;其他发明人请求不公开姓名 | 申请(专利权)人: | 嘉兴尚能光伏材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 | 代理人: | 袁丽花 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴市秀洲*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种用于硅片单面制绒的分片装置,所述分片装置包括箱体、设于箱体中间的送料导轨和出料导轨、设于箱体上的第一吸合模组和第二吸合模组,所述出料导轨位于送料导轨的下方,第一吸合模组和第二吸合模组分别安装于送料导轨两侧的箱体上。本实用新型的分片装置结构简单,控制方便,成本较同等精度的机械手低,大大提高了分片效率;通过吸附硅片的方式分离两两相叠的硅片,分片时不会损伤硅片表面的绒面结构。 | ||
搜索关键词: | 分片装置 吸合模组 硅片 送料导轨 本实用新型 出料导轨 单面制绒 机械手 硅片表面 控制方便 绒面结构 箱体中间 两相 吸附 损伤 | ||
【主权项】:
1.一种用于硅片单面制绒的分片装置,其特征在于,所述分片装置包括箱体、设于箱体中间的送料导轨和出料导轨、设于箱体上的第一吸合模组和第二吸合模组,所述出料导轨位于送料导轨的下方,第一吸合模组和第二吸合模组分别安装于送料导轨两侧的箱体上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的