[实用新型]一种硒化装置有效
| 申请号： | 201820926638.1 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN208562514U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 叶亚宽;杨立红 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;H01L31/18;H01L31/0749;B01D5/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种硒化装置。该硒化装置包括硒蒸发器、硒沉积室和硒冷凝回收装置，所述硒蒸发器通过第一管路与所述硒沉积室连接，所述硒沉积室通过第二管路与所述硒冷凝回收装置连接，所述硒冷凝回收装置通过第三管路与所述硒蒸发器连接。本实用新型通过设置硒冷凝回收装置，能够将硒化反应中尾气中的低浓度气态硒的冷凝回收并导入硒蒸发器中，从而能够实现对硒的回收利用，提高了硒的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 冷凝回收装置 蒸发器 硒化装置 沉积室 本实用新型 回收利用 冷凝回收 硒化反应 尾气 | ||
【主权项】：
1.一种硒化装置，其特征在于，包括硒蒸发器、硒沉积室和硒冷凝回收装置，所述硒蒸发器通过第一管路与所述硒沉积室连接，所述硒沉积室通过第二管路与所述硒冷凝回收装置连接，所述硒冷凝回收装置通过第三管路与所述硒蒸发器连接。
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