[实用新型]一种微动台、工件台和光刻装置有效
| 申请号： | 201820928559.4 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN208255627U | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 宋光辉;魏银雷;宋兴龙;张飞;廖飞红;许伍 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种微动台、工件台和光刻装置，其中微动台包括微动盘，设置于微动盘一侧的电机，以及冷却装置；冷却装置包括至少一个水冷管，水冷管设置于微动盘上。本实用新型实施例实现了对微动盘散热，使微动盘满足其升温指标，提高微动台的定位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 微动盘 微动台 本实用新型 光刻装置 冷却装置 工件台 水冷管 散热 电机 | ||
【主权项】：
1.一种微动台，其特征在于，包括微动盘，设置于所述微动盘一侧的电机，以及冷却装置；所述微动盘为铝合金微动盘；所述冷却装置包括至少一个水冷管，所述水冷管设置于所述微动盘上。
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