[实用新型]一种真空镀膜用加工装置有效
| 申请号： | 201820930351.6 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN208414539U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 史延锋;赵洋;史延库;杨金海 | 申请（专利权）人： | 南京浦阳环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人： | 李海霞 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空镀膜用加工装置，包括主转轴、主转盘、次转盘和托盘，主转轴下端固定连接主转盘，主转盘下端固定连接次转盘，次转盘中间设有伸缩杆，次转盘下端外围设有夹持件，伸缩杆下端固定连接另一个次转盘，该次转盘上端设有夹持件，下端固定连接托盘，在上下端的夹持件之间固定夹持基片，该转盘下端设有次转轴，次转轴下端穿过托盘，末端固定连接从动轮，托盘上端面中间固定连接一个电机，电机下端传动输出端穿过托盘，末端固定连接主动轮，主动轮和从动轮之间通过皮带传动连接，本实用新型可以稳定的夹持住基片，增加基片在镀膜过程中的稳定性，防止基片下端与真空室壁产生摩擦，造成不良品。 | ||
| 搜索关键词： | 下端 次转盘 托盘 夹持件 主转盘 本实用新型 加工装置 真空镀膜 次转轴 从动轮 伸缩杆 主动轮 主转轴 电机 固定连接托盘 皮带传动连接 穿过 传动输出端 镀膜过程 固定夹持 真空室壁 上端 不良品 上端面 夹持 转盘 摩擦 外围 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜用加工装置，包括主转轴(1)、主转盘(2)、次转盘(3)和托盘(7)，其特征在于：所述主转轴(1)下端固定连接主转盘(2)，所述主转盘(2)下端固定连接两组次转盘(3)，每组所述次转盘(3)都设有两个，一个固定连接在主转盘(2)下端，另一个固定连接在托盘(7)上端，所述次转盘(3)中间设有伸缩杆(6)，所述次转盘(3)下端外围设有夹持件(4)，所述伸缩杆(6)下端固定连接另一个次转盘(3)，下端的次转盘(3)上设有夹持件(4)，在夹持件(4)之间固定夹持基片(5)，固定在托盘(7)上的转盘(3)下端设有次转轴(12)，所述次转轴(12)下端穿过托盘(7)，所述次转轴(12)末端固定连接从动轮(11)，所述托盘(7)上端面中间固定连接一个电机(8)，所述电机(8)下端传动输出端穿过托盘(7)，传动输出端末端固定连接主动轮(9)，所述主动轮(9)和从动轮(11)之间通过皮带(10)传动连接。
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