[实用新型]电容式MEMS麦克风

摘要

本实用新型公开了电容式MEMS麦克风。由于振膜边缘不容易振动，背电极边缘部分与振膜边缘形成的电容大小对灵敏度有很大的影响。本实用新型包括衬底、振膜、背电极、接线组件、刻蚀停止环、振膜支撑环、第一绝缘环和第二绝缘环。所述的衬底、刻蚀停止环、振膜支撑环、第一绝缘环、第二绝缘环依次排列并固定在一起。振膜固定在振膜支撑环上。振膜的两个侧面上均开设有多个环形槽。所有环形槽均与振膜同轴设置。氮化硅钝化保护层由保护环和保护盘组成。保护盘的靠近振膜的那侧侧面外凸设置，另一侧侧面内凹设置。导电层由导电环和导电片组成。本实用新型通过将振膜制作成环状结构实现麦克风的高灵敏度。

主权项

1.电容式MEMS麦克风，包括衬底、振膜、背电极、接线组件、刻蚀停止环、振膜支撑环、第一绝缘环和第二绝缘环；其特征在于：所述的衬底、刻蚀停止环、振膜支撑环、第一绝缘环、第二绝缘环依次排列并固定在一起；振膜固定在振膜支撑环上；振膜的两个侧面上均开设有多个环形槽；所有环形槽均与振膜同轴设置；振膜的边缘处开设有通气孔；所述的背电极与第二绝缘环的内侧壁固定；背电极与振膜间隔设置；背电极包括阻隔绝缘层、导电层和氮化硅钝化保护层；氮化硅钝化保护层由保护环和保护盘组成；保护环与第二绝缘环固定；保护盘的靠近振膜的那侧侧面外凸设置，另一侧侧面内凹设置；所述的导电层由导电环和导电片组成；所述的导电环及导电片均与保护盘固定；导电环的内径大于或等于导电片的直径；导电片及导电环均与保护盘固定；导电环与振膜的间距大于导电片与振膜的间距；阻隔绝缘层由阻隔绝缘环和阻隔绝缘片组成；阻隔绝缘环与导电环固定；阻隔绝缘片与导电片固定；阻隔绝缘环及导电环均与保护环固定；背电极上开设有多个声孔；所有声孔均贯穿背电极；阻隔绝缘层靠近振膜的侧面上设置有多个防粘着凸块；所述的接线组件包括第一接线柱和第四接线柱；第一接线柱、第四接线柱与振膜、导电层分别连接。