[实用新型]一种高精度质谱检出限的检测装置

摘要

一种高精度质谱检出限的检测装置，所述检测装置包括待测高精度质谱仪、真空腔室、分子泵、干泵、隔膜泵、微调阀、金属细管、金属毛细管和大气采样阀。通过所述金属毛细管对空气进行采集，逐级减压地，并通过金属细管将采样空气直接运送到高精度质谱仪的离子源中，从而避免了真空腔室本底、高精度质谱仪真空本底、灯丝反应物和碎片分子反应物的干扰，高精度质谱仪直接分析空气中低浓度稀有气体的同位素谱图，从而保证了其检出限检测的精确度。相比已有的技术成果，本实用新型的一种高精度质谱检出限的检测装置简单可靠，通过一次有效的测试，即可直观可比地获得检出限的数量级；通过简单地计算，即可精确可靠地获得四极质谱仪的最小可检浓度和最小可检分压。

主权项

1.一种高精度质谱检出限的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：待测高精度质谱仪、真空腔室、分子泵、干泵、隔膜泵、微调阀、金属细管、金属毛细管和大气采样阀，其中，所述真空腔室第一端口依次与所述分子泵、所述干泵连接，所述真空腔室第二端口连接有真空计，待测高精度质谱仪与所述真空腔室第三端口密封连接，且待测高精度质谱仪的检测端伸入真空腔室内，所述真空腔室第四端口与大气采样阀的第一端密封连接，所述金属细管位于真空腔室内，其一端与所述真空腔室内的检测端连通，其另一端与所述大气采样阀的第一端内连通，所述大气采样阀的第二端与所述金属毛细管连通，所述大气采样阀的第三端与所述微调阀的进气口连通，所述微调阀的出气口与所述隔膜泵连通。