[实用新型]硅片烧结炉气体抽排装置

摘要

本实用新型涉及硅片烧结炉技术领域，尤其是一种硅片烧结炉气体抽排装置，该气体抽排装置包括抽风机、开口朝下的吸风罩、吸风管及出风管，吸风罩设于烘干炉腔和烧结炉腔之间，烧结炉腔上靠近吸风罩的一侧腔壁上贯穿有缺口，吸风罩的左端穿过缺口位于烧结炉腔内，本实用新型采用在烘干炉腔和烧结炉腔之间设置吸风罩，并在烧结炉腔靠近烘干炉腔的一侧开设缺口以便吸风罩伸入，利用抽风机使吸风罩处产生吸力将烘干炉腔中溢出的有机废气吸除，以此避免烘干炉腔中溢出的有机废气聚集在烧结炉腔内及附着在烧结炉腔的内壁上产生油污，从而杜绝烧结炉腔中发生着火的风险，且解决了溢出的有机废气扩散在空气中所产生的环境污染的问题。

主权项

1.一种硅片烧结炉气体抽排装置，所述烧结炉包括用以输送硅片的输送线(1)、烘干炉腔(2)及烧结炉腔(3)，所述输送线(1)依次经过烘干炉腔(2)及烧结炉腔(3)，所述烘干炉腔(2)顶部的两端分别设有废气燃烧塔(4)和热气供应室(5)，其特征在于：该气体抽排装置包括抽风机(6)、开口朝下的吸风罩(7)、吸风管(8)及出风管(9)，所述吸风罩(7)设于烘干炉腔(2)和烧结炉腔(3)之间，所述输送线(1)位于吸风罩(7)的下方，所述烧结炉腔(3)上靠近吸风罩(7)的一侧腔壁上贯穿有缺口(3‑1)，所述吸风罩(7)的左端穿过缺口(3‑1)位于烧结炉腔(3)内，所述抽风机(6)的吸风口通过吸风管(8)与吸风罩(7)的上端连通，所述出风管(9)与抽风机(6)的出风口连通。