[实用新型]一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机

摘要

本实用新型公开了一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，包括连接机构与限位机构，所述连接机构包括送料机，所述送料机一端通过卡合方式设有滑板，所述滑板朝向送料机的一端设有卡块，且所述送料机侧面设有与卡块相适配的固定槽，所述滑板表面两侧设有挡板b，所述挡板b底部相对于卡块侧面通过螺栓连接设有紧固螺栓；通过在送料机一端设有滑板，通过伸缩板的伸缩效果，便于送料机与不同规格的检选机进行连接，避免了因送料机与检选机的规格不符，导致晶圆在运送的过程中掉落，有效的为使用者降低成本，并且提高了送料机的工作效率，通过在送料机顶部设有限位输送带，利用限位槽对晶圆的限位效果，有效的提高了晶圆在运送过程中的稳定性。

主权项

1.一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，包括连接机构与限位机构，其特征在于：所述连接机构包括送料机（18），所述送料机（18）一端通过卡合方式设有滑板（4），所述滑板（4）朝向送料机（18）的一端设有卡块（12），且所述送料机（18）侧面设有与卡块（12）相适配的固定槽，所述滑板（4）表面两侧设有挡板b（10），所述挡板b（10）底部相对于卡块（12）侧面通过螺栓连接设有紧固螺栓（13），所述滑板（4）背离卡块（12）的一端设有连接板（11），所述连接板（11）一端相对于滑板（4）内部设有伸缩板（9），所述送料机（18）顶部两侧边缘处设有挡板a（7），所述送料机（18）一侧外部通过螺栓固定有电动机箱（6），所述送料机（18）底部四角设有送料机支架（8），所述连接板（11）一侧设有检选机（1），且所述连接板（11）底部相对于检选机（1）一侧设有工作台（3），所述工作台（3）一侧相对于检选机（1）表面设有按钮（2）。