[实用新型]一种提升PERC电池背面转换效率的背面膜层结构

摘要

本实用新型公开了一种提升PERC电池背面转换效率的背面膜层结构，包括电池片；所述第一层氮化硅膜的厚度为15±2nm、折射率为1.44±0.05；所述第二层氮化硅膜的厚度为15±2nm、折射率为1.14±0.05；所述第三层氮化硅膜的厚度为5±2nm、折射率为0.96±0.05；所述第四层氮化硅膜的厚度为60±3nm、折射率为0.9±0.05。一种制备方法，包括以下步骤：S1、电池片前处理；S2、背面制备第一层氮化硅膜；S3、背面制备第二层氮化硅膜；S4、背面制备第三层氮化硅膜；S5、背面制备第四层氮化硅膜。本实用新型通过优化和改进背面氮化硅镀膜工艺，提升双面PERC电池背面转换效率，提升工业化生产中良率，提高企业效益，而且该工艺完全可以在现有的设备上实现，不需增加任何成本，实用性较强。

主权项

1.一种提升PERC电池背面转换效率的背面膜层结构，包括电池片(1)，所述电池片(1)的背面依次沉积有氧化铝膜(2)、第一层氮化硅膜(3)、第二层氮化硅膜(4)、第三层氮化硅膜(5)以及第四层氮化硅膜(6)，其特征在于：所述第一层氮化硅膜(3)的厚度为15±2nm、折射率为1.44±0.05；所述第二层氮化硅膜(4)的厚度为15±2nm、折射率为1.14±0.05；所述第三层氮化硅膜(5)的厚度为5±2nm、折射率为0.96±0.05；所述第四层氮化硅膜(6)的厚度为60±3nm、折射率为0.9±0.05。