[实用新型]磁控溅射过渡室

摘要

本实用新型提供一种磁控溅射过渡室，包括相互连接的预过渡室和真空过渡室，预过渡室和真空过渡室上分别设有织物入口和织物出口，预过渡室和真空过渡室均与抽真空设备相连，预过渡室和真空过渡室内均设有多个导辊，导辊与驱动设备相连，在驱动设备的驱动下多个导辊均沿相同的方向转动，以将织物由织物入口运送至织物出口，真空过渡室内还设有冷却装置。本实用新型通过在真空过渡室内设置冷却装置，使得织物经过真空过渡室时能够迅速的降低温度，从而使得经烘干后残留在织物表面的水分迅速液化凝固，并从织物的表面滴落，进而防止了由于织物回潮而在表面形成隔离层的风险，有利于提高镀膜效果。

主权项

1.一种磁控溅射过渡室，设置在放卷室和镀膜装置之间，其特征在于，包括相互连接的预过渡室和真空过渡室，所述预过渡室与所述放卷室相连，所述真空过渡室与所述镀膜装置相连，所述预过渡室和真空过渡室上分别设有织物入口和织物出口，所述预过渡室和真空过渡室均与抽真空设备相连，所述预过渡室和真空过渡室内均设有多个导辊，所述导辊与驱动设备相连，在所述驱动设备的驱动下多个所述导辊均沿相同的方向转动，以将织物由所述织物入口运送至所述织物出口，所述真空过渡室内还设有冷却装置，所述预过渡室内不设冷却装置；所述预过渡室和真空过渡室内还设有多个竖直挡板，多个竖直挡板将所述预过渡室和真空过渡室分成多个腔室，所述竖直挡板上均设有供所述织物通过的通孔；预过渡室内所述通孔水平设置。