[实用新型]用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪

摘要

本实用新型公开了一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪。机械爪包括两卡爪组件、传动机构和驱动机构。卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，两卡爪组件的第一夹紧部分别用于夹取第一尺寸晶圆盒的两把手，两第二夹紧部分别用于夹取第二尺寸晶圆盒的两把手。传动机构传动连接于两卡爪组件，驱动机构作用于传动机构，以使两卡爪组件在打开状态和关闭状态之间切换。当两卡爪组件位于打开状态时，两卡爪组件相远离；当两卡爪组件位于关闭状态时，两卡爪组件相靠近，以夹取晶圆盒。该机械手的卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，使得卡爪组件能够夹取多尺寸的晶圆盒，扩大了机械设备的适用范围，有利于提高晶圆片的生产效率。

主权项

1.一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，其包括：相对设置的两卡爪组件，所述卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，两所述卡爪组件的第一夹紧部分别用于夹取第一尺寸晶圆盒的两把手，两所述卡爪组件的第二夹紧部分别用于夹取第二尺寸晶圆盒的两把手；传动机构，所述传动机构传动连接于两所述卡爪组件；驱动机构，所述驱动机构作用于所述传动机构，以使两所述卡爪组件在打开状态和关闭状态之间切换；其中，当两所述卡爪组件位于打开状态时，两所述卡爪组件相远离；当两所述卡爪组件位于关闭状态时，两所述卡爪组件相靠近，以夹取所述晶圆盒。