[实用新型]一种新型图形化蓝宝石衬底有效
| 申请号： | 201820982260.7 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN208352327U | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 武良文 | 申请（专利权）人： | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南昌高新技*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型图形化蓝宝石衬底，包括蓝宝石衬底，所述蓝宝石衬底的图形化表面上至少有两组大小不同的第一凹底和第二凹底形成周期性图形排列，其中：所述第一凹底的底宽L1大于第二凹底的底宽L2,且第一凹底的底深W1小于第二凹底的底深W2。本实用新型的优点在于：使用本实用新型的图形化蓝宝石衬底成长发光二极管，外延底层侧向成长所需越过的高度较矮,可放大外延工艺制程的窗口，具有提升发光二极管光提取效率的功能，且本实用新型的图形化蓝宝石衬底制作只需一次刻蚀，制程技术简单、效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 图形化蓝宝石 本实用新型 发光二极管 蓝宝石 底宽 制程 光提取效率 图形化表面 周期性图形 侧向成长 外延工艺 刻蚀 两组 放大 制作 | ||
【主权项】：
1.一种新型图形化蓝宝石衬底，包括蓝宝石衬底（1），所述蓝宝石衬底的图形化表面上至少有两组大小不同的第一凹底（2）和第二凹底（3）形成周期性图形排列，其特征在于：所述第一凹底（2）的底宽L1大于第二凹底（3）的底宽L2, 且第一凹底（2）的底深W1小于第二凹底（3）的底深W2。
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