[实用新型]基板翘曲检测装置有效
| 申请号： | 201820994126.9 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN208606731U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刘成;崔永鑫 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基板翘曲检测装置，其包括：载台，设有工作面，所述载台的工作面上设有用以放置基板的放置区；定位机构，设于所述载台的工作面上，用以定位基板；传感器，用以检测基板的边缘位置；以及控制系统，用以接收所述传感器的检测信号。上述基板翘曲检测装置，控制系统根据接收到的传感器的检测信号，判断基板是否发生了翘曲，发生翘曲的程度是否影响后续的生产制造。若检测出基板的翘曲程度超出了正常翘曲误差的标准，则可将其判定为不合格品。有效避免了阵列基板制造过程中产生碎片的情况，进而避免了因碎片而导致的设备故障。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 翘曲 基板翘曲 检测装置 传感器 检测信号 控制系统 本实用新型 边缘位置 不合格品 定位基板 定位机构 设备故障 阵列基板 制造过程 放置区 检测 载台 判定 制造 生产 | ||
【主权项】：
1.一种基板翘曲检测装置，其特征在于，包括：载台，设有工作面，所述载台的工作面上设有用以放置基板的放置区；定位机构，设于所述载台的工作面上，用以定位基板；传感器，用以检测基板的边缘位置；以及控制系统，用以接收所述传感器的检测信号。
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