[实用新型]激光器性能检测系统

摘要

本申请提供一种激光器性能检测系统，探测器通过探测器夹持装置移动，经过电荷藕合器件成像耦合系统和显微镜目测装置进行光路耦合，耦合完后将暗盒装置盖住探测器，防止外部环境光进入探测器影响耦合数据。探测器测得的响应电流经过测试仪分析得出被测激光器的LIV特性数据，通过数据线连接到计算机上进行数据采集储存。通过激光器性能检测系统弥补了传统激光检测系统的只能检测单路光激光器的缺点，并且实现了被测激光器阵列的LIV特性测量。同时，通过激光器性能检测系统可以改变探测器位置，进而可兼容多种规格的激光器进行检测，方便了各种产品应用激光器的来料性能检测。并且，通过激光器性能检测系统提高了激光器应用可靠性，降低了生产成本。

主权项

1.一种激光器性能检测系统，其特征在于，包括：光学耦合平台(10)；激光器阵列探针夹持装置(20)，设置于所述光学耦合平台(10)，用以夹持被测激光器阵列；探测器夹持装置(30)，设置于所述光学耦合平台(10)；探测器(320)，设置于所述探测器夹持装置(30)，所述探测器夹持装置(30)夹持所述探测器(320)移动，用以探测被测激光器阵列的激光光强；电荷藕合器件成像耦合系统(40)，设置于所述光学耦合平台(10)，所述电荷藕合器件成像耦合系统(40)包括电荷藕合器件图像传感器(410)，所述电荷藕合器件图像传感器(410)与被测激光器阵列设置于同一直线，用以接收被测激光器阵列的激光；以及测试仪(50)，设置于所述光学耦合平台(10)，所述测试仪(50)与所述激光器阵列探针夹持装置(20)连接，用以驱动被测激光器阵列，所述测试仪(50)与所述探测器夹持装置(30)连接，用以驱动所述探测器(320)。