[实用新型]一种半导体单晶炉热屏升降装置有效
| 申请号： | 201821001993.4 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN208562599U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 赖章田;贺贤汉;夏孝平;黄保强 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 顾兰芳 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种半导体单晶炉热屏升降装置，包括安装座，安装在单晶炉的炉盖上；水冷密封机构，下端部分穿过安装座和炉盖与热屏连接，上端部分安装有升降座；两个升降机构，安装在安装座上并对称位于水冷密封机构两端，包括自下而上安装的齿轮箱、第一联轴器、线性模组以及电磁式刹车组件，两个线性模组的滑块分别与升降座固定连接；驱动机构，与两个升降机构连接，包括安装在单晶炉外的减速电机，该减速电机通过软轴和第二联轴器与齿轮箱连接。本实用新型不仅克服了钨丝软绳与绕线轮升降机构的所有缺陷，而且运行精度高，运动稳定，并且电磁式刹车组件的采用有效防止了线性模组非控制下滑，安全性高，同时也解决了热屏升降不平稳的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 升降机构 线性模组 安装座 半导体单晶 本实用新型 电磁式刹车 减速电机 升降装置 水冷密封 齿轮箱 单晶炉 升降座 炉盖 炉热 热屏 钨丝 第一联轴器 驱动机构 运动稳定 联轴器 绕线轮 上端 滑块 软绳 软轴 下端 升降 对称 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种半导体单晶炉热屏升降装置，带动单晶炉中的热屏进行升降动作，其特征在于，包括：安装座，安装在单晶炉的炉盖上；水冷密封机构，下端部分穿过所述安装座和所述炉盖与所述热屏连接，上端部分安装有升降座；两个升降机构，安装在所述安装座上并对称位于所述水冷密封机构两端，包括自下而上安装的齿轮箱、第一联轴器、线性模组以及电磁式刹车组件，两个所述线性模组的滑块分别与所述升降座固定连接；驱动机构，与两个所述升降机构连接，包括安装在所述单晶炉外的减速电机，该减速电机通过软轴和第二联轴器与所述齿轮箱连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海汉虹精密机械有限公司，未经上海汉虹精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821001993.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种单晶复投车
- 下一篇：一种苎麻纤维加工机的多向输出传动箱
