[实用新型]一种扩膜、测试、分选一体机有效
| 申请号： | 201821016497.6 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN208368534U | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张虎;林桂绮;邱智中;蔡吉明 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体设备领域，其提供的一种扩膜、测试、分选一体机，至少包括一扩膜单元、一测试单元、一分选单元，其特征在于：所述扩膜单元包括一环形载台，一可升降的真空平台，一真空控制机构，以及一芯粒承载机构，所述真空平台位于环状载台的中心，所述真空控制机构连接于所述真空平台，所述芯片承载机构位于所述环形载台上，所述芯粒承载机构包括一承载芯粒的弹性透气性膜，以及固定该弹性透气性膜的固定环。 | ||
| 搜索关键词： | 真空平台 真空控制机构 承载机构 透气性膜 膜单元 一体机 分选 芯粒 载台 半导体设备 本实用新型 测试 测试单元 分选单元 芯片承载 承载芯 固定环 可升降 | ||
【主权项】：
1.一种扩膜、测试、分选一体机，至少包括一扩膜单元、一测试单元、一分选单元，其特征在于：所述扩膜单元包括一环形载台，一可升降的真空平台，一真空控制机构以及一芯粒承载机构，所述真空平台位于环状载台的中心，所述真空控制机构连接于所述真空平台，所述芯粒承载机构位于所述环形载台上，所述芯粒承载机构包括一承载芯粒的弹性透气性膜，以及固定该弹性透气性膜的固定环。
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