[实用新型]一种真空镀膜机的坩埚安装机构

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜机的坩埚安装机构，包括真空室，所述真空室的底部设有连接杆，连接杆的顶部固定安装有第一安装座，第一安装座的顶部设有第二安装座，第二安装座的顶部固定安装有坩埚，第二安装座的底部固定安装有两个定位销，第一安装座的顶部开设有两个定位槽，且定位销与对应的定位槽相适配，两个定位槽相互远离的一侧内壁上均开设有第一凹槽，两个定位销相互远离的一侧均开设有第一卡槽，第一凹槽内滑动安装有第一卡销，且第一卡销与对应的第一卡槽相适配，第一凹槽的顶部内壁上开设有第二凹槽，第二凹槽内滑动安装有挡板。本实用新型能够便于对坩埚进行安装，结构简单，操作方便。

主权项

1.一种真空镀膜机的坩埚安装机构，包括真空室（1），其特征在于，所述真空室（1）的底部设有连接杆（2），连接杆（2）的顶部固定安装有第一安装座（3），第一安装座（3）的顶部设有第二安装座（4），第二安装座（4）的顶部固定安装有坩埚（5），第二安装座（4）的底部固定安装有两个定位销（7），第一安装座（3）的顶部开设有两个定位槽（6），且定位销（7）与对应的定位槽（6）相适配，两个定位槽（6）相互远离的一侧内壁上均开设有第一凹槽（9），两个定位销（7）相互远离的一侧均开设有第一卡槽（8），第一凹槽（9）内滑动安装有第一卡销（10），且第一卡销（10）与对应的第一卡槽（8）相适配，第一凹槽（9）的顶部内壁上开设有第二凹槽（12），第二凹槽（12）内滑动安装有挡板（13），挡板（13）的顶部固定安装有第一弹簧（14）的一端，第一弹簧（14）的另一端固定安装在对应的第二凹槽（12）的内壁上，挡板（13）的底部铰接有支撑杆（15）的一端，支撑杆（15）的另一端铰接在第一卡销（10）上，两个第一凹槽（9）相互远离的一侧内壁上均开设有第一孔（16），第一孔（16）内滑动安装有拉杆（23），拉杆（23）的一端固定安装在对应的第一卡销（10）上，拉杆（23）的顶部开设有两个第二卡槽（17），第一孔（16）的顶部内壁上开设有第三凹槽（18），第三凹槽（18）内滑动安装有第二卡销（19），且第二卡销（19）与对应的第二卡槽（17）相卡装，第二卡销（19）的顶端固定安装有第二弹簧（20）的一端，第二弹簧（20）的另一端固定安装在第三凹槽（18）的内壁上，两个第二卡销（19）的相互靠近的一侧固定安装有推杆（21）的一端，推杆（21）的另一端延伸至第一安装座（3）的外侧。