[实用新型]分子束外延系统的进样装置有效
| 申请号： | 201821025396.5 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN208594347U | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈意桥;陈超;赵曼曼 | 申请（专利权）人： | 苏州焜原光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于电子元器件技术领域，涉及一种分子束外延系统的进样装置，包括与MBE进样室连接的操作室和设在所述操作室上的过渡舱；所述MBE进样室与所述操作室之间具有可开关的室门；所述操作室具有两个面向大气的操作口，所述操作口的内侧设有将操作室与大气隔开的手套，所述操作室上设有换气机构；所述过渡舱具有一个面向所述操作室内的内门和面向大气的外门，所述过渡舱上设有抽气机构。本进样装置使衬底进样的过程中经过多个密闭空间，使衬底所处的环境逐步达到干燥洁净无氧化的条件，保证衬底外延生长的质量优良。 | ||
| 搜索关键词： | 操作室 进样装置 过渡舱 衬底 分子束外延系统 操作口 进样室 本实用新型 电子元器件 抽气机构 换气机构 密闭空间 外延生长 可开关 隔开 进样 内门 室门 手套 外门 洁净 室内 保证 | ||
【主权项】：
1.一种分子束外延系统的进样装置，其特征在于：包括与MBE进样室连接的操作室和设在所述操作室上的过渡舱；所述MBE进样室与所述操作室之间具有可开关的室门；所述操作室具有两个面向大气的操作口，所述操作口的内侧设有将操作室与大气隔开的手套，所述操作室上设有换气机构；所述过渡舱具有一个面向所述操作室内的内门和面向大气的外门，所述过渡舱上设有抽气机构。
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