[实用新型]一种用于旋涂机的主轴有效
| 申请号： | 201821028748.2 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN208592025U | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 肖春龙;苗福喜;缑玉栋;陈胜章;芦志方;郭建军;陈瑞敏 | 申请（专利权）人： | 安阳华安通用主轴科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08 |
| 代理公司： | 安阳市智浩专利代理事务所(普通合伙) 41116 | 代理人： | 张智和 |
| 地址： | 455000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种用于旋涂机的主轴，属于旋涂机主轴领域，所述转子轴内设置有通孔，主轴内设置有水冷套，转子和定子两端分别设置有两个和两个以上轴承，主轴上部设置有防水盖，主轴末端设置有编码器，所述主轴的转速在0.2‑1000转/分，所述主轴的外圆跳动≤0.003mm、端面跳动≤0.003mm，通过利用本实用新型能够提高大型基板的涂胶均匀度，可减少胶液的浪费，提高胶液旋涂的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 旋涂机 胶液 本实用新型 转子 大型基板 定子两端 端面跳动 外圆跳动 主轴末端 主轴上部 编码器 防水盖 均匀度 水冷套 转子轴 通孔 涂胶 旋涂 轴承 | ||
【主权项】：
1.一种用于旋涂机的主轴，包括设置在主轴壳体内周的定子、设置在转子轴外周的转子，其特征在于：所述转子轴内设置有通孔，主轴内设置有水冷套，转子和定子两端分别设置有多个轴承，主轴上部设置有防水盖，主轴末端设置有编码器，所述主轴的转速在0.2‑1000转/分，所述主轴的外圆跳动≤0.003mm、端面跳动≤0.003mm。
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