[实用新型]晶片测试变角位台有效

专利信息
申请号: 201821035730.5 申请日: 2018-07-03
公开(公告)号: CN208296785U 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 甄伟;赵松彬 申请(专利权)人: 丹东新东方晶体仪器有限公司
主分类号: G01B15/00 分类号: G01B15/00
代理公司: 沈阳利泰专利商标代理有限公司 21209 代理人: 张玉甫
地址: 118000 辽宁省丹*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 晶片测试变角位台,包括X射线定向仪部分、基准板工作台部分、两个微调机构和V型定位槽位置调整部分。X射线定向仪部分包括射线光闸和测角仪。测角仪主轴上设置角位台。角位台上固定设置L型的贴片板座的横向部分,L型的贴片板座的竖向部分固定支撑横向设置的基准板。基准板的左侧前后分别设有前后相对设置的两个微调机构。基准板的右侧上表面设有V型定位槽位置调整部分。螺旋测微仪推动V型块的V型尖端卡紧或松开测试晶片。微调机构的调整杆旋转带动限位轴卡紧或松开测试晶片。角位台为板状或为电动角位台。结构简单、复检测试时间短、操作简便、使用加方便。
搜索关键词: 基准板 微调机构 测试晶片 位置调整 测角仪 角位台 贴片板 松开 变角 卡紧 螺旋测微仪 部分固定 固定设置 横向设置 晶片测试 相对设置 旋转带动 电动角 调整杆 上表面 台晶片 限位轴 工作台 板状 光闸 角位 竖向 射线 测试 检测 支撑
【主权项】:
1.晶片测试变角位台,包括X射线定向仪部分、基准板工作台部分、两个微调机构和V型定位槽位置调整部分;其特征在于:X射线定向仪部分包括射线光闸(2)和测角仪(3);测角仪(3)主轴上设置角位台(16);角位台(16)上输出转动部固定设置L型的贴片板座(15)的横向部分,L型的贴片板座(15)的竖向部分固定支撑横向设置的基准板(10);基准板工作台部分包括基准板(10);基准板(10)的左侧前后分别设有前后相对设置的两个微调机构;基准板(10)的右侧上表面设有V型定位槽位置调整部分。
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