[实用新型]脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统有效
| 申请号： | 201821036025.7 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN208632633U | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 代瑞娜;张晓军;胡凯;陈志强;方安安;姜鹭;潘恒;王岩;王峻岭 | 申请（专利权）人： | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市华优知识产权代理事务所(普通合伙) 44319 | 代理人： | 余薇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜材料加工技术领域，公开了一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统。所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，包括设置在脉冲激光沉积设备外壳上的第一水冷管以及水冷机，所述第一水冷管的端口与所述水冷机的第一端口密封连接，所述水冷机用于向所述第一水冷管循环输出水冷液。本实用新型的技术方案，使脉冲激光沉积设备的外壳及真空仓可持续降温，避免了薄膜被杂质污染和被氧化，提升了脉冲激光沉积设备薄膜制备的质量、重复性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲激光沉积设备 水冷循环装置 水冷管 水冷机 脉冲激光沉积系统 本实用新型 加工技术领域 薄膜材料 薄膜制备 端口密封 杂质污染 真空仓 水冷 薄膜 输出 | ||
【主权项】：
1.一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，包括设置在脉冲激光沉积设备外壳上的第一水冷管以及水冷机，所述第一水冷管的端口与所述水冷机的第一端口密封连接，所述水冷机用于向所述第一水冷管循环输出水冷液。
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