[实用新型]图形化装置

摘要

本实用新型提供了一种图形化装置。基板放置在加热载台上，对位机构承载光罩并移动所述光罩，以将所述光罩与所述基板对准，对准后所述加热载台对所述基板上的纳米金属线溶液进行加热固化；在固化的同时，所述供氧通道向所述反应腔中提供含氧材料使纳米金属线溶液中的纳米金属线被老化，一设定波长的光线通过所述光罩后照射至所述基板上，所述基板上的纳米金属线被所述设定波长的光线照射的区域老化的速度快，从而迅速失去导电能力；而没有被所述设定波长的光线照射的区域老化的速度慢，不受太大的影响，从而可以同时固化和图形化纳米金属线导电层，使所述光罩上的图形转移到所述纳米金属线导电层上，进而简化了图形化纳米金属线导电层的工艺。

主权项

1.一种图形化装置，其特征在于，所述图形化装置包括：反应腔、供氧通道、加热载台、对位机构及光源，所述加热载台、对位机构及光源均设置于所述反应腔内；所述加热载台用于承载并加热一基板，以对所述基板上的纳米金属线溶液进行固化形成纳米金属线导电层；所述对位机构用于承载并移动一光罩，以将所述光罩与所述基板对准；所述供氧通道用于向所述反应腔中通入含氧材料，所述光源用于发出一设定波长的光线，所述设定波长的光线通过所述光罩后照射至所述基板上，在所述含氧材料的作用下将所述光罩上的图形转移到所述纳米金属线导电层上。