[实用新型]一种光盘生产线溅镀机专用靶材

摘要

本实用新型公开了一种光盘生产线溅镀机专用靶材，其结构包括靶管、靶杆和靶管凹槽，所述靶管中部设有靶管凹槽，所述靶管两端厚度一致，所述靶管凹槽低于靶管两端高度，所述靶管内部设有靶杆，所述靶杆两端设有螺纹孔，所述靶杆与靶管接触连接，该光盘生产线溅镀机专用靶材在靶材溅射强烈的两端位置放置较厚的靶材，在溅射强度较弱的中间部分放置厚度较薄的靶材，避免溅射强烈区域的靶材过早消耗完毕，从而延长了整个靶材的使用寿命，提高了靶材利用率，增加了更换靶材的时间周期，减少了更换靶材次数，间接减少了劳动量，降低了材料成本和人力成本。

主权项

1.一种光盘生产线溅镀机专用靶材，其结构包括靶管(1)、靶杆(2)和靶管凹槽(4)，其特征在于：所述靶管(1)中部设有靶管凹槽(4)，所述靶管(1)内部设有靶杆(2)，所述靶杆(2)两端设有螺纹孔(3)，所述靶杆(2)与靶管(1)接触连接。