[实用新型]一种加工检测系统有效
| 申请号： | 201821057533.3 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN208093533U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 姜雪崑;杨建 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种加工检测系统。所要解决的技术问题是：在各个装置间运送薄膜太阳能电池芯片容易造成损坏，多次装卡和运输过程耗费较长加工时间，生产效率低下。包括:工作台，具有移动轨迹，在工作台上均布n个分台，在工作台的指定侧设置有n个固定位置的工位；放料机构，包括机械手可移动地设置于工作台的上方，用于在分台上放置工件；操作设备，设置于工位。本实用新型加工检测系统至少具有下列优点：实现了各分台在各操作设备之间的移动，从而在各个操作设备之间运送薄膜太阳能电池芯片，减小了对其造成损坏的情况发生，并且所有的工序只需一次装卡，缩短了加工时间，有利于提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 加工检测 工作台 薄膜太阳能电池 本实用新型 生产效率 工位 芯片 可移动地设置 运送 机械手 放料机构 放置工件 机械设备 一次装卡 移动轨迹 运输过程 减小 均布 装卡 加工 移动 | ||
【主权项】：
1.一种加工检测系统，其特征在于，包括:工作台，具有指定的运转方式，在所述工作台上均布n个分台，在所述工作台的指定侧设置有n个固定位置的工位，每个所述工位对应一个所述分台，n为大于等于1的整数；放料机构，包括机械手，所述机械手可移动地设置于所述工作台的上方，用于在分台上放置工件；操作设备，设置于所述工位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
