[实用新型]基板处理装置有效
| 申请号： | 201821060805.5 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN209256645U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 林钟逸;赵珳技 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/26;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及基板处理装置，该基板处理装置用于进行基板的研磨工序，其包括：研磨垫，用于研磨基板的上表面；研磨头，具备与研磨垫上表面接触的隔膜，相对于基板进行移动，从而可以提高研磨稳定性及研磨准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 基板处理装置 研磨 上表面 研磨垫 基板 本实用新型 准确度 研磨基板 研磨头 隔膜 移动 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，用于进行基板的研磨工序，其特征在于，包括：研磨垫，用于研磨基板的上表面；研磨头，具备与所述研磨垫上表面接触的隔膜，相对于所述基板进行移动。
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