[实用新型]一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置

摘要

本实用新型公开了一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置，包括依次连接的辛胺储罐、第一混合罐、第二混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐，所述第一混合罐上还连接有添加剂储罐，所述第二混合罐上还连接有氟化铵储罐、氟氢酸储罐和去离子水储罐，所述过滤装置为下进上出，圆锥形过滤网的过滤罐体。本实用新型的过滤罐体中采用圆锥形过滤网，反向过滤，蚀刻液由下往上流动，从而可以使滤渣留存在下方，由于滤渣一般自重比滤液大，其会往下沉淀，从而可通过过滤罐体底端的排污口排出；滤后澄清液可以由下而上通过采出泵泵出过滤罐体，流向成品罐；滤渣不会过多堆积在滤网处，滤网承受的阻力小，拆洗方便，使用寿命长。

主权项

1.一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置，包括依次连接的辛胺储罐、第一混合罐、第二混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐，所述第一混合罐上还连接有添加剂储罐，所述第二混合罐上还连接有氟化铵储罐、氟氢酸储罐和去离子水储罐，其特征在于，所述过滤装置包括一个过滤罐体、设置在过滤罐体内部的过滤件及设置在过滤罐体上的进料口、出料口和排污口，所述进料口位于过滤罐体的侧壁处，所述出料口位于过滤罐体的顶部，所述排污口位于过滤罐体底部，所述排污口设有相适配的塞子；所述过滤件为圆锥形滤网，且圆锥形滤网的大端口与过滤罐体内壁密封固定连接，所述过滤罐体出料口后管路上设有采出泵，所述过滤罐体出料口通过管路与采出泵连接后再与成品罐进口相连。