[实用新型]硅片清洗用的集中供热系统和硅片清洗系统有效
申请号: | 201821075314.8 | 申请日: | 2018-07-06 |
公开(公告)号: | CN208712384U | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 但汉满 | 申请(专利权)人: | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/10 | 分类号: | B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 224400 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种硅片清洗用的集中供热系统和硅片清洗系统。该集中供热系统包括清洗机水漂洗槽、加热装置、输水组件和控制系统。加热装置用于给清洗机水漂洗槽内的水加热。输水组件与清洗机水漂洗槽相连,用以将清洗机水漂洗槽内的热水输送给插片机上料槽。当然,输水组件也可将水供给上游侧的上游漂洗槽使用。控制系统用于控制加热装置和输水组件的运转。应用该集中供热系统,可使插片机的作业效率得到提升。此外,清洗机水漂洗槽内的水经过漂洗作业后没有直接排放,而是循环再利用。这样有利于节约水资源。而且,这种集中加热和供热方式也使得各个槽体的水温上升速度都较快,加热效率较高。 | ||
搜索关键词: | 清洗机 水漂洗 集中供热系统 输水 硅片清洗系统 硅片清洗 加热装置 控制系统 控制加热装置 本实用新型 循环再利用 供热方式 集中加热 加热效率 热水输送 直接排放 作业效率 漂洗 上游 插片机 漂洗槽 水供给 水加热 槽体 插片 料槽 水资源 运转 节约 应用 | ||
【主权项】:
1.一种硅片清洗用的集中供热系统,其特征在于,包括:清洗机水漂洗槽;加热装置,所述加热装置用于给所述清洗机水漂洗槽内的水加热;输水组件,所述输水组件与所述清洗机水漂洗槽相连,用于将所述清洗机水漂洗槽内的热水输送给插片机上料槽;控制系统,所述控制系统用于控制所述加热装置和输水组件的运转。
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