[实用新型]分子束外延系统使用的衬底托板有效
| 申请号： | 201821076288.0 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN208829793U | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 陈意桥;陈超;颜全;赵曼曼 | 申请（专利权）人： | 苏州焜原光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/458 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于电子元器件技术领域，涉及一种分子束外延系统使用的衬底托板，包括轴向穿透的本体，所述本体的中心设有表面低于本体上表面的环形台以及低于环形台的台面，所述台面的外边缘高于其内边缘。本衬底托板能缩减衬底与载片台阶接触面积，有效减少二者之间的热扩散，从而提高衬底的热均匀性以及减少热应力线的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 分子束外延系统 衬底托板 环形台 衬底 电子元器件 热均匀性 有效减少 衬底托 穿透的 热扩散 热应力 上表面 外边缘 台面 载片 轴向 | ||
【主权项】：
1.一种分子束外延系统使用的衬底托板，其特征在于：包括中间穿透的本体，所述本体的中心设有表面低于本体上表面的环形台以及低于环形台的台面，所述台面的外边缘高于其内边缘。
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