[实用新型]一种反喇叭形离子溅射系统阴极靶保护外套有效
| 申请号： | 201821090806.4 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN208501087U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张高会;陈科成;汪阳;乔宪武;李凤鸣 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种反喇叭形离子溅射系统阴极靶保护外套，其特征在于，所述反喇叭形保护套由主体和底端两部分组成且两部分厚度相同；所述保护套主体部分展开为一定厚度的扇环形薄片，底端部分为一定厚度的圆形薄片；所述底端部分圆形薄片周长和主体部分展开的扇环薄片下底边长相同；所述主体部分展开的扇环上底边长可依据被保护靶材靶位周长来确定，以保证保护套恰好套在被保护靶的靶位上而不脱落；所述反喇叭形保护外套通过焊接将主体部分下底与底端圆形薄片周长一圈焊接在一起，扇环形两腰焊接在一起；所述保护套可用常见的金属或合金材料根据实际需求制造。 | ||
| 搜索关键词： | 喇叭形 底端 圆形薄片 周长 焊接 离子溅射 扇环形 阴极靶 靶位 扇环 保护套主体 本实用新型 合金材料 实际需求 上底边 下底边 靶材 可用 套在 金属 制造 保证 | ||
【主权项】：
1.一种反喇叭形离子溅射系统阴极靶保护外套，其特征在于，所述反喇叭形保护套由主体和底端两部分组成；所述保护套主体部分展开为一定厚度的扇环形薄片，底端部分为一定厚度的圆形薄片；所述底端部分圆形薄片周长和主体部分展开的扇环薄片下底边长相同；所述主体部分展开的扇环上底边长可依据被保护靶材靶位周长来确定，以保证保护套恰好套在被保护靶的靶位上而不脱落；所述反喇叭形保护外套将主体部分下底与底端圆形薄片周长一圈无缝连接在一起，扇环形两腰无缝连接在一起；所述保护套可用常见的金属或合金材料根据实际需求制造。
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