[实用新型]玻璃基板气浮装置有效
申请号: | 201821094807.6 | 申请日: | 2018-07-09 |
公开(公告)号: | CN208429614U | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 郭向阳;郭锋;刘文泰;李腾 | 申请(专利权)人: | 芜湖东旭光电装备技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭集团有限公司 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 苏瑞;耿超 |
地址: | 241000 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本公开涉及一种玻璃基板气浮装置,该装置包括基座(1),设置于所述基座(1)上方的气浮条(2),用于调节气浮条(2)相对于基座(1)高度的升降机构(3),以及用于设置所述升降机构(3)所需高度的控制机构。本公开的装置通过升降机构调节气浮条相对于基座的高度,升降机构的所需高度通过控制机构设置,从而能够使气浮条达到所需的平面度要求。 | ||
搜索关键词: | 升降机构 气浮 玻璃基板 气浮装置 平面度要求 | ||
【主权项】:
1.一种玻璃基板气浮装置,其特征在于,该装置包括基座(1),设置于所述基座(1)上方的气浮条(2),用于调节气浮条(2)相对于基座(1)高度的升降机构(3),以及用于设置所述升降机构(3)所需高度的控制机构。
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