[实用新型]防止晶圆衬底旋转的分子束外延用衬底托板有效
| 申请号： | 201821095559.7 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN208594348U | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈意桥;陈超;赵曼曼 | 申请（专利权）人： | 苏州焜原光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/458 |
| 代理公司： | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于电子元器件技术领域，涉及一种防止晶圆衬底旋转的分子束外延用衬底托板，包括环状的本体，所述本体的中心设有表面低于本体上表面的外环形台以及低于所述外环形台的内环形台，所述内环形台用于托承晶圆衬底，所述外环形台上开有一个宽度与晶圆切边相等的凹槽，所述凹槽内设有一个能接触晶圆切边的切片卡块。本衬底托板具有切边卡块能够顶住晶圆衬底的切边，防止晶圆衬底与衬底托板之间发生相对转动，造成衬底边缘产生划痕及表面杂质颗粒的增多。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 衬底托板 外环形 衬底 切边 分子束外延 衬底旋转 内环形 边卡 电子元器件 表面杂质 衬底边缘 衬底托 上表面 划痕 卡块 切片 相等 顶住 | ||
【主权项】：
1.一种防止晶圆衬底旋转的分子束外延用衬底托板，其特征在于：包括环状的本体，所述本体的中心设有表面低于本体上表面的外环形台以及低于所述外环形台的内环形台，所述内环形台用于托承晶圆衬底，所述外环形台上开有一个宽度与晶圆切边相等的凹槽，所述凹槽内设有一个能接触晶圆切边的切片卡块。
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