[实用新型]一种用于腐蚀硅片电感测厚仪的防腐蚀装置

摘要

本实用新型提供了一种用于腐蚀硅片电感测厚仪的防腐蚀装置，该装置包括底座、支架、测量机构及防腐机构，测量机构包括主机、防腐组件及与主机相连的金属探针，主机安装在支架上，防腐组件包括保护套及设置在保护套下方且与保护套一体设置的感应探头，保护套内设置安装孔，保护套安装在金属探针下端的外周面上，感应探头沿其中心轴线方向设置有感应通孔；底座的上表面上设置有气缸及测试盘，气缸的输出端与测试盘的底端相连，测试盘的上表面上设置有用于放置硅片的凸台和若干个环绕凸台的支撑柱，该防腐蚀装置通过设置四氟支撑柱和四氟防腐组件，可以避免硅片上的酸溶液接触金属探针和测试盘，从而阻止酸溶液腐蚀金属探针和测试盘。

主权项

1.一种用于腐蚀硅片电感测厚仪的防腐蚀装置，该装置包括底座(1)、支架(2)、测量机构及防腐机构，所述支架(2)固定设置在所述底座(1)的上表面，其特征在于：测量机构包括主机(3)、防腐组件及与所述主机(3)相连的金属探针(4)，所述主机(3)安装在所述支架(2)上，所述防腐组件包括保护套(5)及设置在所述保护套(5)下方且与所述保护套(5)一体设置的感应探头(6)，所述保护套(5)内设置有用于安装所述金属探针(4)的安装孔(501)，所述安装孔(501)贯穿所述保护套(5)的两端，所述保护套(5)通过安装孔(501)安装在所述金属探针(4)下端的外周面上，所述感应探头(6)为圆锥型，所述感应探头(6)沿其中心轴线方向设置有感应通孔(601)，所述感应通孔(601)贯穿所述感应探头(6)的两端，所述感应通孔(601)与所述安装孔(501)相连通；所述底座(1)的上表面上设置有气缸(7)及测试盘(8)，所述气缸(7)的输出端与所述测试盘(8)的底端相连，所述测试盘(8)的上表面上设置有用于放置硅片的凸台(10)和若干个环绕所述凸台(10)的支撑柱(9)，所述凸台(10)的上表面上设有若干个贯穿凸台(10)的通气孔(101)。