[实用新型]工件表面轮廓在位测量系统有效
申请号: | 201821109076.8 | 申请日: | 2018-07-12 |
公开(公告)号: | CN208547320U | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 李学崑;陈占营;张云;蒋昇;杜海涛;王立平 | 申请(专利权)人: | 清华大学;华辰精密装备(昆山)股份有限公司 |
主分类号: | G01B5/20 | 分类号: | G01B5/20 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 黄德海 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种工件表面轮廓在位测量系统,包括:位移测量模块,包括两个位移传感器,用于测量被测量工件表面轮廓的变化量;固定支撑模块,包括两个测量臂,用于夹持位移传感器,以使位移传感器垂直工件表面沿所述被测量工件轴线方向滑动;数据采集模块,用于获取被测量工件表面轮廓的变化量;数据处理模块,用于根据被测量工件表面轮廓的变化量得到被测量工件的当前轮廓,并实时存储被测量工件的当前轮廓。该系统测量过程简单快捷,测量精度高且价格低廉,安装方便且开放性好。 | ||
搜索关键词: | 测量工件表面 测量工件 变化量 工件表面轮廓 位移传感器 测量系统 在位 个位移传感器 固定支撑模块 数据采集模块 数据处理模块 位移测量模块 本实用新型 测量精度高 安装方便 垂直工件 实时存储 系统测量 轴线方向 滑动 测量臂 夹持 开放性 测量 | ||
【主权项】:
1.一种工件表面轮廓在位测量系统,其特征在于,包括:位移测量模块,所述位移测量模块包括两个位移传感器,用于测量被测量工件表面轮廓的变化量;固定支撑模块,所述固定支撑模块包括两个测量臂,用于夹持所述两个位移传感器,以使所述两个位移传感器垂直工件表面沿所述被测量工件轴线方向滑动;数据采集模块,用于获取所述被测量工件表面轮廓的变化量;以及数据处理模块,用于根据所述被测量工件表面轮廓的变化量得到所述被测量工件的当前轮廓,并实时存储所述被测量工件的当前轮廓。
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